6月20日，记者从新站高新区了解到，近日，合肥欣奕华首台Micro LED激光巨量转移设备正式下线交付客户，该设备的成功开发与交付，标志着新站高新区在新型显示技术领域取得了重大突破。
据了解，Micro LED作为新一代显示技术，具有高亮度、高对比度、高刷新率等优点，被广泛应用于电视、显示器、虚拟现实等领域。而激光巨量转移设备作为Micro LED制程中的关键设备之一，对于实现Micro LED的大规模量产至关重要。
此次交付的Micro LED激光巨量转移设备，采用了多项自主研发的核心技术，具备多项行业领先优势。设备搭载超高精度运动平台，可实现精密自动对位和芯片高效巨量转移，芯片转移综合精度控制在1.5μm以内，确保了芯片转移的准确性和稳定性。
同时，自主设计的光路系统，实现了光斑高均匀性和稳定性，为芯片转移提供了可靠的光学保障。此外，设备还具备晶圆姿态检测及校正功能、光斑位置自校正功能，进一步提升了设备稳定性和生产效率。
在兼容性方面，该设备最大支持G2.5代（370mmX470mm）基板，可满足不同客户的多样化需求。搭配合肥欣奕华自研的Micro LED准分子激光剥离设备、DPSS固体激光剥离设备，能够为客户提供一站式的Micro LED制程解决方案，助力客户降低生产成本，提高生产效率。
此次首台设备的成功交付，彰显了合肥在新型显示领域不断积累的技术研发和科技创新实力。下一步，新站高新区将聚焦强链延链补链，持续攻关核心技术、培育龙头企业，不断做强做优做大新型显示产业。
合肥在线-合新闻记者 任海怡
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