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赵琼: 匠心筑“净”界  创新破“芯”局

在企业建厂关键时期,他毅然扛起建立无尘室洁净环境的重任,为企业量产筑牢根基。此后,他又在晶圆破片分析技术领域实现重大突破,填补国内空白……

赵琼,合肥晶合集成电路股份有限公司设备整合部技术科长,这位全国劳模用匠心与创新,为企业发展注入强劲动力,在半导体领域刻下深深的奋斗印记。

不辱使命

铸就无尘室环境

在纳米级精度的晶圆制造领域,一粒肉眼不可见的尘埃却如同巨型陨石,足以成为摧毁精密电路的“灾难”。

2017年 2 月,赵琼初入晶合集成时,正值企业建厂初期,肩负着建立无尘室洁净环境的重任。彼时,摆在他面前的是时间紧迫、任务艰巨等一系列艰巨挑战。但赵琼没有退缩,他深知无尘室建设对于企业生产的关键意义,就如同万丈高楼的基石,不容有失。

那段日子里,赵琼开启了“白加黑”的工作模式,白天穿梭于施工现场,紧盯每一个环节;夜晚则沉浸在资料与数据中,不断学习和研究无尘室建设的技术要点,用时间弥补经验的短板。“今日事今日毕” 成为他和团队坚守的信念,每天工作到深夜,总结当日工作情况,督促现场整改,已然成为常态。

经过日夜奋战,赵琼和团队终于按时完成了无尘室环境的建立,使其达到机台搬入的标准,为晶合量产按下了加速键。

回首这段经历,赵琼感慨万分:“虽然过程充满艰辛,但当看到无尘室顺利建成,为公司发展奠定基础的那一刻,所有的付出都值了。”

创新破局

填补国内技术空白

晶合集成所处的晶圆代工行业,是半导体产业链中最为重要的环节之一。

晶圆像是一个极其精密且娇贵的 “魔法圆盘”。在制造过程中,它要经历各种复杂的工艺和操作,轻微的碰撞、挤压或者温度、湿度的突然变化,都可能像一阵狂风或一根尖刺,对晶圆造成伤害,使其出现破损。

在全球半导体生产中,晶圆破损是长期困扰行业的难题,且一直缺乏专用的分析工具。

“以往多依赖工程人员的经验判断,不仅主观性强,准确率也低。”赵琼决心改变这一现状,他带领团队向晶圆破片分析技术发起挑战,目标是开发出一款能够精准、快速分析晶圆破片原因的装置。

研发之路布满荆棘,技术难题如同拦路虎,资源限制也不时掣肘。但赵琼和团队凭借着对技术创新的执着追求,以及为公司降本增效、推动行业进步的责任感,一路披荆斩棘。

他深入研究物理应力和制程应力破片的不同特点,巧妙利用光学以及晶圆平面坐标系统构建,经过无数次的试验、失败、再试验,终于成功研发出“一种晶圆破片分析装置及其晶圆破片分析方法”。

这一发明填补了国内空白,为制造中国 “芯” 注入了硬核力量。

载誉前行

传承技术育人才

凭借突出的贡献,赵琼陆续荣获合肥市第七届职工技术创新成果一等奖、合肥市五一劳动奖章等诸多荣誉,2025年,他又荣获全国劳动模范称号。

“这些荣誉不仅是对我个人的认可,更是对团队努力的褒奖。” 赵琼表示,新时代产业工人需兼具多重品质。要持续精进专业技能,紧跟行业发展;敢于突破思维桎梏,探索新技术;保持高度责任心与敬业精神,强化团队协作,如此方能在产业发展中凝聚合力。

在技术传承与年轻人才培养方面,赵琼有着自己的独特心得。

他以身作则,在实际工作中言传身教,同时,积极为年轻人创造学习和锻炼的机会,鼓励他们参与各类创新活动,在实战中提升能力。定期组织的培训和交流活动,也为年轻工程师拓宽了视野,助力他们快速成长。

在赵琼的带领下,团队不断涌现出优秀的技术人才,为公司发展注入源源不断的活力。

五年内营收破百亿,六年内科创板上市,跻身全球前十……晶合集成自2015年5月成立以来,励精图治,聚合前行,稳步跨越一个个“芯”台阶,成为中国半导体产业中坚力量。

对于合肥半导体产业的未来,赵琼更是满怀期待。

他坚信,在政府政策支持和企业共同努力下,合肥半导体产业将迎来前所未有的发展机遇。他和团队也将积极投身其中,为推动产业发展贡献力量,助力合肥成为全国乃至全球重要的半导体产业高地。

合肥在线-合新闻记者 李后祥 文

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