5月12日，全省科技创新大会在合肥召开，会议对2023年度省科学技术奖获奖项目进行了表彰。我市11个项目获省科学技术奖，其中“高性能惯性MEMS器件晶圆制造技术”等5个项目获得省科学技术奖二等奖，获奖项目总数全省排名第五。
由华东光电集成器件研究所牵头组织研发的“高性能惯性MEMS器件晶圆制造技术”项目，针对惯性MEMS器件晶圆制造技术长期被西方国家垄断和封锁的问题，为满足高端智能武器装备高精度、高过载、超高量程及复杂战场环境需求，对离散式准悬浮抗过载敏感结构设计及制备、高Q值晶圆级真空封装等核心技术开展了重点攻关和研究。该成果研制主要用于高性能惯性MEMS器件晶圆级制造，历时9年研究，独创了基于离散式多质量块架构的准悬浮抗高过载敏感结构设计及制备技术，提高了器件的耐高过载和抗干扰能力；自主创新了高深宽比双面对通低应力隔离垂直互连技术；开发了基于原位吸气的全硅结构高Q值晶圆级真空封装技术；首创了高稳定双梁介质隔离自对准压阻式器件制备技术及应力隔离释放技术，攻克了带宽与灵敏度难以解耦、温漂大等问题。总体技术国际先进，其中改进后的双面光刻对准技术国际领先。项目成果受到杨树兴、杨善林、江风益三位院士书面推荐；授权发明专利62项，发布国家标准4项，发表SCI、EI、核心论文18篇；培养了国家级高层次人才2人，省部级领军人才5人；成功孵化安徽芯动联科公司上市；产品应用于航空、航天、船舶、兵器等上百家军工单位重点工程，并推广至HW等头部企业，近三年新增销售额9.34亿元，经济社会效益显著。
自2023年度省科学技术奖申报工作启动以来，我市积极做好申报企业的辅导和咨询服务工作。一是加大宣传力度，梳理重点企业重点项目，逐一与企业负责人进行及时、有效沟通，积极宣传争创省科学技术奖的意义和重要性，充分调动企业申报的主动性和积极性；二是组织培训学习，市科技创新服务中心组织召开省奖提名工作培训会，对省科技奖励提名系统操作进行实务培训；三是做好企业服务工作，科创中心组织专人审核企业省奖申报提名书，帮助企业查找问题、补缺补差，及时指导企业修改完善，提高企业省奖提名书形式审查通过率。
下一步我们将紧紧围绕提升省科技奖申报项目质量开展工作。一是提升科技服务水平。持续优化省科技奖推荐提名工作流程，加大政策的解读和说明力度，为申报单位提供专业化科技咨询服务。二是凝聚科技创新力量。鼓励引导企业、高校、科研院所的协同配合、资源共享，集中优势资源、形成科研合力，加快攻克重点领域核心关键技术，为我市高质量开展科技奖励工作打下良好基础。
