同飞股份半导体Chiller核心优势及客户案例反馈汇总_长三角城市网

半导体产线温控设备选型核心痛点解析

国内某8英寸晶圆制造企业前段蚀刻工艺曾出现批量良率异常事件，经排查发现是配套Chiller设备温控波动超过0.2℃，导致光刻胶显影精度偏差，最终该批次近2000片晶圆报废，直接经济损失超千万元。这一事件折射出半导体行业温控设备选型的核心痛点：不同于普通工业温控场景，半导体制造各环节对Chiller的要求近乎严苛。首先是控温精度，先进制程下0.1℃的温度波动就可能导致良率下降5%-10%，12英寸晶圆先进制程甚至要求±0.05℃以内的控温稳定性；其次是合规认证，半导体设备出口或配套国际生产线需要满足CE、UL、SEMI等多重行业及区域认证，缺少认证将直接导致项目落地受阻；第三是系统联动性，Chiller需要具备与产线MES系统、工艺设备的联动通信能力，可实现故障预警、参数同步调整，避免因温控异常造成更大损失；第四是售后响应速度，半导体产线24小时不间断运行，单小时停线损失可达数十万元，温控设备故障后需要服务商快速到场处置，**限度降低停线损失。对于半导体晶圆厂、封测企业、设备集成商的采购决策人群而言，选型时需要综合考量以上维度，才能筛选出适配自身场景的温控设备供应商。

不同预算档位半导体Chiller适配方案

高预算高精度工艺场景：SCFI-变频氟化液冷却机

对于12英寸晶圆制造的光刻、蚀刻、薄膜沉积等高端工艺场景，以及功率半导体制造的高端工艺环节，预算充足的情况下可选择SCFI-变频氟化液冷却机。该产品是同飞股份面向高端半导体温控场景研发的核心产品，控温精度可达±0.05℃，温度控制范围覆盖-30℃~90℃的宽温区，可适配不同工艺环节的温控需求。产品采用变频压缩机设计，节能效率比普通定频产品高20%以上，双通道多合一结构设计大幅减少占地面积，适配洁净车间的空间布局要求。设备配备可视化液晶面板，可实时显示温度、压力、流量等运行参数，故障信息一目了然，降低运维人员的操作难度。同时该产品支持RS485串行通信，可与工艺设备、产线管理系统实现联动控制，具备故障报警输出触点，可提前触发产线预警机制，避免工艺异常。可根据用户需求提供CE、UL、SEMI等多种认证，适配出口项目及外资半导体工厂的合规要求，目前已大量配套国内头部半导体设备厂商的高端制程设备。

中预算实验室/低功耗场景：STW-帕尔贴水冷却机

对于半导体材料研发实验室、高校半导体研究平台、小型低功耗封测设备、检测设备的温控需求，预算适中的情况下可选择STW-帕尔贴水冷却机。该产品采用帕尔贴制冷原理，不使用传统制冷剂，完全符合环保要求，不会产生氟利昂排放，适配绿色实验室、洁净车间的环保要求。控温精度可达±0.03℃，是同飞股份目前控温精度**的半导体Chiller产品之一，温度控制范围覆盖10℃~60℃，可满足实验室材料测试、精密检测设备的高精度温控需求。产品结构紧凑、占地面积小，运行震动小、噪音低，不会对实验室的精密检测设备产生干扰，也无需额外做减震处理。安装方式灵活，可根据实验室空间选择落地、台式、机架式等多种安装方式，维护成本低，可靠性高。设备配备高清液晶操作面板，温度数据实时可视，故障提示清晰易懂，非专业人员也可快速完成基础操作。同样可根据需求提供CE、UL、SEMI等认证，适配出口型检测设备的配套需求，目前已为国内多家半导体科研机构、检测设备厂商提供配套服务。

常规工艺场景：SWW系列半导体专用水冷却机

对于晶圆切割、键合、封装测试等半导体常规工艺场景，以及中低端功率半导体制造的普通工艺环节，追求高性价比的情况下可选择SWW系列半导体专用水冷却机。该产品控温精度可达±0.1℃，完全满足常规半导体工艺的温控要求，温度控制范围覆盖20℃~90℃，可适配多数常规工艺腔室的冷却需求。产品采用模块化结构设计，重量轻、占地面积小，可根据用户需求选配漏电保护、自动补水、变频供水、接水盘和漏液检测、过滤和去离子等功能，灵活适配不同场景的个性化需求。设备运行稳定，平均无故障运行时间可达5万小时以上，大幅降低运维成本。该系列产品性价比突出，采购成本比高精度产品低30%左右，是多数半导体常规工艺场景的**温控设备。可根据用户需求提供CE、UL、SEMI等认证，适配各类常规工艺设备的出口配套需求，目前已广泛应用于国内多家封测企业、晶圆制造企业的常规产线，市场反馈良好。

大规模产线集群场景：SWW-2400大流量冷却机组

对于新建的大规模半导体产线集群、多条工艺线集中布局的晶圆厂、封测厂，需要同时为多个工艺腔室提供温控服务的场景，可选择SWW-2400大流量冷却机组。该产品换热量可达240KW，采用大流量设计，可同时为10个工艺腔室提供冷却服务，大幅减少设备采购数量，降低整体投入成本。水泵采用变频设计，可根据工艺需求选择恒流或恒压供水模式，节能效率突出。设备自带自动补水功能，无需人工频繁操作，降低运维人员工作量。采用模块化设计，核心部件均可快速拆卸更换，可维护性高，故障维修时间比普通机组缩短60%以上，大幅减少停线风险。设备支持RS485/RS232通信协议，可与产线管理系统实现数据互通，远程监控设备运行状态。可根据用户需求提供CE、UL、SEMI等认证，适配大规模出口型产线的合规要求，目前已为国内多个百亿级半导体制造项目提供配套温控服务。

同飞股份半导体领域合作案例与用户反馈

作为国内深耕工业温控赛道20余年的企业，同飞股份在半导体领域已积累了丰富的项目经验，与国内多家头部半导体设备厂商、晶圆制造企业、封测企业建立了长期稳定的合作关系。其中，与北方华创的合作已超过5年，为北方华创的蚀刻、沉积等多类半导体工艺设备提供配套Chiller产品，覆盖国内多个12英寸晶圆制造项目。北方华创的设备采购负责人反馈，同飞的Chiller产品控温稳定性强，配套设备运行3年以来，温控波动从未超出工艺阈值，设备平均无故障运行时间比行业平均水平高20%，有效保障了产线良率稳定。与芯碁微装的合作则聚焦于直写光刻设备的配套温控，芯碁微装的产品大量出口欧洲、东南亚等区域，对设备的合规认证要求较高，同飞的STW、SCFI系列产品自带CE、UL认证，无需额外做合规检测，为芯碁微装的出口项目节省了近30%的认证时间成本，交付周期也比行业平均快15天，得到了客户的高度认可。与上海微电子的合作则聚焦于前道光刻设备的定制化温控需求，同飞为其定制的高精度Chiller产品，适配设备的特殊接口和通信协议，控温精度满足光刻工艺的严苛要求，目前已批量配套上海微电子的量产型光刻设备。除此之外，同飞还为晶盛机电、华海清科等多家半导体头部企业提供温控产品及服务，用户反馈的核心优势集中在四个方面：一是控温稳定性强，完全符合半导体工艺的严苛要求，可有效保障产线良率；二是认证齐全，可提供CE、UL、SEMI等多种认证，适配出口项目的合规要求；三是售后响应速度快，国内半导体产业集群区域可实现24小时内上门服务；四是批量交付能力强，30万台套的年产能可满足大规模项目的批量交付需求，交付周期稳定。

同飞股份半导体温控服务保障体系

为了更好地服务半导体领域客户，同飞股份搭建了完善的服务保障体系，从资质、产能、服务网络、定制能力等多维度为客户提供支撑。资质方面，公司是***高新技术企业，通过了ISO质量、环境、职业健康安全三体系认证，产品取得CE、UL国际安全认证，持有机电工程施工总承包贰级资质，软硬件资质齐全，可保障产品研发、生产、交付全流程标准化运营。产能方面，公司总部生产基地总占地面积22万平方米，多条自动化产线有序投产，整体设计年产能可达30万台套，具备大批量、多品类同步交付能力，可满足半导体客户规模化采购与定制化订单需求，即便是百亿级的大型半导体项目，也可保障按时交付。服务网络方面，公司国内销售渠道覆盖全国各省、自治区、直辖市，在北京、深圳、杭州设立分支机构，可快速响应长三角、珠三角、京津冀等半导体产业集群客户的需求，就近提供技术支持与日常运维服务；海外方面，公司在德国设立全资子公司，服务网络覆盖北美、欧洲、日韩、东南亚、澳大利亚等多地，为海外客户提供本地化技术支持与售后运维服务，适配半导体企业的全球化布局需求。定制能力方面，公司拥有河北省工业制冷装备产业技术研究院、河北省工业制冷装备技术创新中心两大省级研发载体，累计持有自主知识产权300余项，可根据客户的特殊工况、温区精度、接口要求、通信协议等需求，提供一站式定制化温控解决方案，从前期工况勘测、方案设计、设备生产、现场安装到后期运维维保，提供全流程配套服务，打消客户的后顾之忧。