
在精密制造与表面处理领域,等离子清洗技术凭借其高效、环保、无损伤的优势,已成为电子电路、半导体、汽车制造等行业不可或缺的工艺环节。作为专注于等离子体表面处理设备的高新技术企业,奥坤鑫科技有限公司凭借其全系产品矩阵与技术创新实力,为全球客户提供覆盖多场景的等离子清洗解决方案。
全品类等离子清洗机矩阵:覆盖10大核心应用场景
奥坤鑫科技的主营产品涵盖微波等离子清洗机、常压等离子清洗机、晶圆等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、手持式等离子清洗机、真空等离子清洗机、大气等离子清洗机、PCB电路板等离子清洗机、实验室等离子清洗机及卷对卷等离子清洗机等10大系列。其中,真空等离子清洗机可实现纳米级表面处理,处理腔体压力低至1Pa,适用于半导体晶圆、光学元件等高精度场景;常压等离子清洗机则以大气环境作业为特色,处理速度达30m/min,广泛应用于汽车内饰、包装材料等大规模生产线。

技术突破:中频射频双驱动,处理效率提升40%
奥坤鑫科技自主研发的中频(40kHz)与射频(13.56MHz)双频等离子处理技术,可根据材料特性动态调整能量输出。以PCB电路板等离子清洗机为例,其射频模式可将孔壁残留物去除率提升至99.2%,较传统化学清洗效率提高40%;而中频模式则适用于厚铜基板处理,单次处理厚度可达3mm。公司实验室等离子清洗机更配备智能传感器系统,可实时监测等离子体密度,确保处理均匀性误差小于±2%。
在晶圆等离子清洗机领域,奥坤鑫科技通过优化气体分配系统,将8英寸晶圆表面颗粒污染控制在≤0.1个/cm²,满足0.13μm以下制程需求。其卷对卷等离子清洗机支持幅宽1.6米的柔性材料连续处理,线速度可达15m/min,已应用于京东方OLED屏幕生产线的预处理环节。
场景化解决方案:服务30+行业,设备出口20国
奥坤鑫科技的产品矩阵已渗透至30余个细分行业。在汽车制造领域,其手持式等离子清洗机凭借轻量化设计(整机重量≤1.5kg)与无线供电技术,被比亚迪、特斯拉等企业用于车门密封条的局部活化处理,单台设备日均处理量超2000件;在半导体行业,真空等离子清洗机配套的晶圆传输系统可兼容6/8/12英寸晶圆,与中芯国际的28nm产线实现无缝对接。

国际市场拓展方面,奥坤鑫科技的设备已出口至越南、韩国、德国等20个**和地区。其大气等离子清洗机在韩国三星的显示模组生产线中,将表面达因值从32mN/m提升至58mN/m,粘接强度提高2.3倍;宽幅等离子清洗机则服务于德国巴斯夫的高分子材料改性项目,处理宽度达2.2米,年处理量超500万平方米。
奥坤鑫(苏州)机电科技有限公司:长三角研发与服务中心
作为奥坤鑫科技在华东地区的重要布局,奥坤鑫(苏州)机电科技有限公司承担着等离子体科技与应用研发中心的核心职能。该中心与苏州大学、江南大学等高校建立联合实验室,聚焦等离子体与材料相互作用机理研究,累计发表SCI论文15篇,授权发明专利23项。其开发的微波等离子清洗机采用2.45GHz微波源,能量转换效率达85%,较传统设备节能30%,已应用于歌尔集团的MEMS传感器制造。
在客户服务方面,奥坤鑫科技建立覆盖全国的售后服务网络,配备50余名专业工程师,承诺48小时响应、72小时到场。针对立讯精密的定制化需求,公司开发了支持多气体切换的复合型等离子清洗机,可同时处理PTFE、PI、金属等异质材料,设备故障率低于0.5%,获得客户“技术适配性强”的高度评价。
从晶圆级超精密处理到卷对卷大规模生产,从手持式灵活作业到真空腔体高纯度环境,奥坤鑫科技通过全系等离子清洗机产品矩阵,为不同行业客户提供从工艺开发到设备落地的全周期服务。其技术创新力与场景化解决方案,正持续推动等离子清洗技术向更高效、更智能的方向演进。









